奥宝科技(Orbotech)宣布推出专为平面显示器制造业设计的新一代Metrology-on-AOI解决方案,包括线上或离线的自动光学检测(AOI)系统与整合EYES-2020制程资料分析系统,可将高准确性的计量学运用在AOI等系统。
据介绍,将一部分的计量学原理运用CD/OL测量是每一个TFT-LCD制造厂确保精准的面板尺寸所必备的技术。同样地,对于每一层级内各种不同制程阶段中,自动光学检测(AOI)更是不可或缺。因此,一个结合这些功能系统将可降低线上所需设备的数量,有效节省设备的资金支出、无尘室的空间以及维护成本,同时,也可增进营运绩效与品质管控。
奥宝所研发的Metrology-on-AOI概念,消除了传统用在CD/OL测量上耗时与低效率的打样方法。于是,不需等候从生产线上转移到离线计量系统就可取得玻璃面板样本。而现在这些量测方法可以在每次生产线上,利用AOI系统检测每一个玻璃面板有无制造瑕疵时一并完成。因此,使用者可立即获得包括处理鉴定制程偏差的资料分析,以及当任何明确的途径或线上来源的尺寸超过范围发出实时警示。
奥宝科技亚太区显示器部门业务副总Eitan Oppenhaim表示:“此一新观念运用在大型液晶电视制造设备,将计量技术与AOI结合于单一系统内已获得客户广大的回响,客户可比以往更为快速建置生产线并减少成本。建置速度对于LCD面板制造厂商而言就像节省营运管销一样重要。”



