我国科研团队千天攻克国产芯片制造核心装备-3SEE网-行业情报

　　
　　　三年如白驹过隙，1100多个日日夜夜里，一支平均年龄不到35岁的中国科研团队，走完了发达国家15年才走完的路，使得国内主流的集成电路生产线上首次出现了国产核心制造装备。9月28日，芯片制造六大装备中的刻蚀机和离子注入机的采购合同在北京签订，这标志着国产100纳米制造装备初步实现了产业化。这项重大的技术突破背后，既有科研人员的呕心沥血、苦辣酸甜，也有科研体制前所未有的改革创新。
　　1、三年建起研发基地

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